国家知识产权局信息显示,上海邦芯半导体科技有限公司申请一项名为“GaN器件结构及其制备方法”的专利,公开号CN122825464A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本申请公开了一种GaN器件结构及其制备方法,包括:在衬底的表面上沉积AlN缓冲层,在第一温度和第一压力下,按脉冲通断方式循环通入氨气,对AlN缓冲层的表面进行第一处理,以提高界面质量;在AlN缓冲层的表面上依次沉积GaN沟道层和AlGaN势垒层,并在AlGaN势垒层的表面上形成栅极结构;在第二温度和第二压力下,依次使用氢自由基和氮自由基,对AlGaN势垒层的露出表面进行第二处理,以提高界面质量;在AlGaN势垒层的表面上沉积AlN钝化层,并将栅极结构覆盖;第一温度大于第二温度,第一压力大于第二压力。本申请能够减少界面缺陷,提高膜层质量,有利于改善器件电学性能。

天眼查资料显示,上海邦芯半导体科技有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本6166.6668万人民币。通过天眼查大数据分析,上海邦芯半导体科技有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目30次,财产线索方面有商标信息22条,专利信息325条,此外企业还拥有行政许可8个。

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作者:情报员