国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“准分子激光退火设备与基板及其制备方法”的专利,公开号CN122825746A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请提供了一种准分子激光退火设备与基板及其制备方法,该准分子激光退火设备包括光源、光学系统、退火装置;退火装置包括腔体、入射窗、承载台、狭缝板和透光阻挡部;透光阻挡部设置于透光狭缝上方,且在腔体底面的正投影完全覆盖透光狭缝的腔体底面的正投影,在竖直方向上与狭缝板上端面之间形成有间隙;处理后激光被构造为透过入射窗和透光阻挡部照射到待加工基板上。该准分子激光退火设备有效保证处理后激光的全部光线在通过入射窗时不会因为入射窗上的缺陷发生散射,尽量保证照射到待加工基板上的各个待退火位置的处理后激光强度保持均一。
天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目999次,专利信息4699条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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