国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“晶圆的减薄方法及系统”的专利,公开号CN122825798A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本申请提供了一种晶圆的减薄方法及系统,属于半导体领域。方法包括:提供晶圆,对晶圆的第一表面进行粗减薄,所述第一表面为晶圆需要减薄的一面;对粗减薄后的晶圆的第一表面进行精减薄;获取晶圆的第一表面的厚度分布;基于所述厚度分布对晶圆的第一表面进行局部氧化,将第一表面中厚度高于厚度阈值的位置氧化,形成局部氧化区域;所述厚度阈值根据厚度分布中的最低厚度确定;对所述局部氧化区域进行刻蚀,使晶圆第一表面的厚度分布均匀。通过该方法,可以对晶圆第一表面的厚度进行修正,使厚度分布均匀。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本223464.5597万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目657次,财产线索方面有商标信息54条,专利信息1846条,此外企业还拥有行政许可35个。

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作者:情报员