国家知识产权局信息显示,浙江启真量子科技有限公司申请一项名为“一种超导量子芯片微纳加工的剥离方法及超导量子芯片”的专利,公开号CN122825702A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本发明提供了一种超导量子芯片微纳加工的剥离方法及超导量子芯片,所述剥离方法包括:在超导薄膜表面旋涂第一光刻胶层,经曝光、第一显影和刻蚀后形成第一窗口;在所述第一窗口和第一光刻胶层表面沉积铝牺牲层;在所述铝牺牲层表面旋涂第二光刻胶层,经曝光和第二显影后形成第二窗口,所述第二显影同时去除第一窗口底部的铝牺牲层;在所述第二窗口沉积目标金属层;或,在所述第二窗口和第二光刻胶层表面沉积目标金属层;将所得芯片浸入剥离液,所述剥离液通过所述铝牺牲层在所述第一光刻胶层侧壁的薄弱处渗透,使第一光刻胶层及其上方各层脱离,保留锚定于衬底上的目标金属层;去除残余铝牺牲层及其表面残胶。

天眼查资料显示,浙江启真量子科技有限公司,成立于2024年,位于杭州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江启真量子科技有限公司参与招投标项目22次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息10条。

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作者:情报员