国家知识产权局信息显示，沅聚电子束科技（深圳）有限公司申请一项名为“一种工件清洁方法及系统”的专利，公开号CN122806778A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本发公开了一种工件清洁方法及系统，属于半导体制造设备维护技术领域。该方法包括：产生一参照工件的第一表面形貌信息；在附着层覆盖第一工件后产生该第一工件的第二表面形貌信息；比对该第一表面形貌信息与该第二表面形貌信息，以获取该附着层的三维分布信息，并根据该三维分布信息产生该附着层的切削信息；以及根据该切削信息，以清洁装置的切削工具移除该附着层的至少一部分。通过比对获取附着层的三维分布信息并据此进行物理切削移除，避免了现有技术中化学腐蚀及全域过度处理对工件本体的损伤，实现了对半导体工件的精准局部清洁。

天眼查资料显示，沅聚电子束科技（深圳）有限公司，成立于2024年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4000万人民币。通过天眼查大数据分析，沅聚电子束科技（深圳）有限公司财产线索方面有商标信息2条，专利信息2条，此外企业还拥有行政许可3个。

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作者：情报员