国家知识产权局信息显示，山东启天信息科技有限公司取得一项名为“具有多级温控功能的蒸发腔体结构”的专利，授权公告号CN224798953U，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，具有多级温控功能的蒸发腔体结构，包括真空室、与真空室连通的真空泵和设置于真空室内用于放置基片的基片架，还包括加热系统、测温系统和PLC控制器，加热系统包括沿真空室轴向排列的三个独立的加热装置，三个独立的加热装置将真空室沿轴向分为三个独立的加热区，测温系统包括与三个独立的加热区一一对应设置的三个测温装置，PLC控制器与加热装置和测温装置通信连接，被配置为接收各测温装置的反馈信号，并独立调节对应加热区的加热功率。该蒸发腔体结构通过将腔体划分为多个独立的加热区，并为每个区配置独立的温度监测和PLC反馈控制，提高了腔体内部温度均匀性，提升了产品良率和性能，分区独立控制避免了能源浪费，降低了生产成本。

天眼查资料显示，山东启天信息科技有限公司，成立于2018年，位于济南市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，山东启天信息科技有限公司参与招投标项目309次，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可4个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员