国家知识产权局信息显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司申请一项名为“束流检测方法及装置和离子注入设备”的专利，公开号CN122815510A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本公开实施例公开了一种束流检测方法及装置和离子注入设备。该束流检测装置包括：束流收集单元；所述束流收集单元具有开口，所述束流收集单元用于在待检测的带电束流通过所述开口进入后检测所述带电束流的电荷数量；磁性单元，位于所述带电束流传输路径的相邻位置；所述磁性单元包括调整单元，用于调整所述磁性单元的磁场强度；其中，所述磁场强度不同，所述带电束流中包含的电子量不同。

天眼查资料显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息72条，专利信息211条，此外企业还拥有行政许可225个。

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作者：情报员