国家知识产权局信息显示,扬州晶新微电子有限公司申请一项名为“带背面黑胶保护的铝镍金多层金属腐蚀工艺”的专利,公开号CN122847059A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体器件芯片制造工艺领域,具体公开了带背面黑胶保护的铝镍金多层金属腐蚀工艺,包括:采集金腐蚀液物性参数与黑胶入料参数,计算腐蚀液渗入深度,判定黑胶浸润状态,结合菲克第二定律与有限差分法,解算冲洗后各薄层碘离子残留浓度,生成暂存状态向量;基于残留浓度计算碘离子化学势差,判定逆流热力学条件,结合阿伦尼乌斯公式通过逸出通量与安全阈值比对,识别逆流高风险工况;采用数值迭代法反向求解温控与冲洗流速的最优工艺指令序列,将碘离子逸出通量限定在安全范围;最后编译机台指令执行诱导释放程序,校验温、流速执行精度,完成风险消除判定,未达标批次自动报警隔离,有效规避碘离子逆流造成的工艺异常。

天眼查资料显示,扬州晶新微电子有限公司,成立于1998年,位于扬州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2963万美元。通过天眼查大数据分析,扬州晶新微电子有限公司参与招投标项目13次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息63条,此外企业还拥有行政许可47个。

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作者:情报员