国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“压盖装置、晶圆固定装置及半导体工艺设备”的专利,公开号CN122847133A,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本申请公开一种压盖装置、晶圆固定装置及半导体工艺设备,所公开的压盖装置用于与晶圆承载部(400)配合,所述压盖装置包括安装架(100)和固定件(300);所述安装架(100)用于与升降销组件(200)固定连接;所述固定件(300)与所述安装架(100)固定连接,从而能够在所述升降销组件(200)的驱动下与所述升降销组件(200)的升降销(210)同步沿直线运动。上述方案能解决相关技术涉及的压盖装置存在难以稳定地将晶圆固定在晶圆承载部上的问题。

天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目1523次,财产线索方面有商标信息75条,专利信息5968条,此外企业还拥有行政许可341个。

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作者:情报员