国家知识产权局信息显示,南京芯邺科技有限公司申请一项名为“晶圆的对准标记的制作方法、双面对准的光刻方法和晶圆”的专利,公开号CN122837136A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆的对准标记的制作方法、双面对准的光刻方法和晶圆。对准标记的制作方法包括:对所述晶圆进行清洗;确定对准标记的形状和在所述晶圆上的位置;根据所述对准标记的形状和在所述晶圆上的位置采用等离子体深硅刻蚀工艺或激光打孔工艺垂直刻穿所述晶圆,在所述晶圆本体上形成上下贯通式的对准标记。本发明实施例提供的技术方案可以在晶圆本体上直接形成上下贯通式的对准标记,可见光通过对准标记可以直接穿过晶圆,实现了晶圆的高精度双面对准,保证了光刻工艺的精度。

天眼查资料显示,南京芯邺科技有限公司,成立于2025年,位于南京市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,南京芯邺科技有限公司专利信息5条,此外企业还拥有行政许可1个。

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作者:情报员