国家知识产权局信息显示，纳设智能装备（江苏）有限公司取得一项名为“发热室及反应腔室”的专利，授权公告号CN224812684U，申请日期为2025年11月。

专利摘要显示，本申请提供一种发热室及反应腔室，涉及半导体技术领域。发热室包括进气口、出气口、传输口、晶圆传输通道和气体传输生长腔，晶圆传输通道位于气体传输生长腔在第一方向上的一侧，进气口和出气口分别与气体传输生长腔在第二方向上彼此相对的两侧连通，传输口与晶圆传输通道在第二方向上的一侧连通，传输口和进气口位于第二方向上的同一侧，第一方向和第二方向交叉。在发热室使用时，晶圆可以经传输口进入晶圆传输通道内，由于传输口与进气口位于第二方向上的同一侧，也就是说，晶圆通过上游侧进入发热室内，而不再经过粉尘状副产物形成的区域，这能够降低粉尘状副产物导致的晶圆表面出现缺陷的风险，从而降低了产品质量下降甚至报废的风险。

天眼查资料显示，纳设智能装备（江苏）有限公司，成立于2023年，位于南通市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，纳设智能装备（江苏）有限公司参与招投标项目3次，专利信息23条。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

本文源自：市场资讯

作者：情报员