国家知识产权局信息显示,深圳市立起精密机械有限公司申请一项名为“用于晶圆加工的定位误差识别补偿方法及系统”的专利,公开号CN122847127A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明公开了用于晶圆加工的定位误差识别补偿方法及系统,涉及晶圆加工定位技术领域。方法包括:基于晶圆的应用场景约束特征以及晶圆设计的功能特征,构建多等级误差梯度;根据多等级误差梯度进行感知通路构建,利用感知通路采集的数据进行多等级误差定位,识别误差分布;根据误差分布,以预设补偿响应策略进行匹配,识别补偿类型;根据补偿类型在对应类型的缺陷容忍范围内进行补偿测量,生成补偿反馈信息。解决了现有技术中晶圆加工定位过程中误差来源复杂、误差补偿适应性不足,导致定位精度较差的技术问题,达到了提高晶圆加工定位精度的技术效果。

天眼查资料显示,深圳市立起精密机械有限公司,成立于2012年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本10万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市立起精密机械有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息7条,此外企业还拥有行政许可8个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员