国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于化学机械抛光承载头之电气连接”的专利，公开号CN122847376A，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，一种化学机械抛光装置具有：平台，所述平台具有顶表面以保持抛光垫；承载头，所述承载头用于在抛光工艺期间将基板保持抵靠在所述抛光垫的抛光表面；传感器及/或致动器，所述传感器及/或致动器布置在所述承载头上；以及旋转电气连接件，所述旋转电气连接件在控制器与所述传感器及/或致动器之间提供至少两个电气连接件。所述控制器被配置为接收来自所述传感器及/或致动器的信号，且基于所述信号控制所述承载头。

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作者：情报员