国家知识产权局信息显示，LPE公司、ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“从反应器部件蚀刻碳化硅堆积”的专利，公开号CN122833558A，申请日期为2026年3月。

专利摘要显示，本发明涉及一种从用于在衬底上沉积碳化硅层的反应室的一个或多个工件蚀刻碳化硅堆积的方法。该方法包括以下步骤：(i)在用于沉积碳化硅的反应器的反应室的一个或多个工件上提供碳化硅堆积；(ii)执行蚀刻过程的至少一个循环；(iii)执行化学气相沉积过程的至少一个循环。本发明还涉及一种适于执行所述方法的反应器。

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作者：情报员