国家知识产权局信息显示,京东方华灿光电(苏州)有限公司申请一项名为“刻蚀方法”的专利,公开号CN122847055A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本公开提供了一种刻蚀方法,属于半导体技术领域。所述刻蚀方法包括:在晶圆的表面上形成光刻胶层,对所述光刻胶层进行曝光;对所述光刻胶层进行第二阶段的显影,使得所述第一初始掩膜窗口朝向所述第一光刻胶层延伸,得到具有深度不同的掩膜窗口的光刻胶掩膜;在所述光刻胶掩膜的掩盖下,对所述晶圆进行干法刻蚀,在所述晶圆中形成与所述掩膜窗口一一对应的多个刻蚀区域。本公开可以消除套刻误差、简化工艺流程。
天眼查资料显示,京东方华灿光电(苏州)有限公司,成立于2012年,位于苏州市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本250000万人民币。通过天眼查大数据分析,京东方华灿光电(苏州)有限公司参与招投标项目100次,专利信息651条,此外企业还拥有行政许可52个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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