国家知识产权局信息显示,上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“CMOS器件及其形成方法”的专利,公开号CN122846805A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明提供了一种CMOS器件的形成方法,包括:提供包含依次堆叠设置的底层硅、埋氧层和顶层硅的SOI,以及依次位于顶层硅的衬垫氧化层和衬垫氮化层,顶层硅分为NMOS区和PMOS区;刻蚀衬垫氮化层、衬垫氧化层和顶层硅,以形成露出埋氧层表面的浅沟槽,浅沟槽位于NMOS区和PMOS区的交界处;通过炉管工艺在浅沟槽内的NMOS区和PMOS区的顶层硅侧壁上均形成炉管氧化层,炉管工艺的氧气渗透至NMOS区和PMOS区的顶层硅与埋氧层之间的部分交界面,以在顶层硅靠近浅沟槽的下方同时形成炉管氧化层;去除PMOS区的顶层硅下方的炉管氧化层;在浅沟槽内填充氧化物,以形成浅沟槽隔离结构。
天眼查资料显示,上海华虹宏力半导体制造有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目949次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息7970条,此外企业还拥有行政许可465个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
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