国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“一种具有吸附机构的等离子体刻蚀设备”的专利,公开号CN122843264A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请实施例提供一种具有吸附机构的等离子体刻蚀设备,由于吸附结构包括设有吸附材料的吸附面,吸附面均连通有吸附孔,且与吸附面朝向沿厚度方向背向第二制程腔,使得等离子体经由通孔从第一制程腔通入第二制程腔时,等离子体能够更好地与连通有吸附孔的吸附面上的吸附材料接触,等离子体中的基团能够更好地被吸附。由于吸附结构配置为包括至少两个设有不同吸附材料吸附面的棱柱状结构,吸附结构通过转动即可使与设有不同吸附材料的吸附面朝向沿厚度方向背向第二制程腔,实现了设有不同吸附材料的吸附面及与其连通的吸附孔的切换,缩短了该具有吸附机构的等离子体刻蚀设备工艺调整的用时,提高了生产效率。
天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目999次,专利信息4699条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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