国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“一种干法刻蚀设备”的专利，公开号CN122843266A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本公开提供一种干法刻蚀设备，该干法刻蚀设备包括第一腔室以及通过第一入口与第一腔室连通的第二腔室，第一腔室的顶部设置有喷嘴组件和位于第一腔室内的射频电源和电极板，第二腔室内设置有正对第一入口的承载平台和位于承载平台靠近第一入口一侧的测量阵列，测量阵列包括多个测量单元和用于驱动多个测量单元沿第一方向运动对的驱动件，多个测量单元处于第一状态时，多个测量单元正对第一入口；多个测量单元处于第二状态时，多个测量单元沿第一方向运动远离第二入口，第一方向与第一入口的输出方向相交，等离子体生成于第二腔室之外，使其浓度与解离程度的分布不受到第二腔室的真空泵抽气扰动，不会形成与气体流动关联的刻蚀速率分布。

天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。

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作者：情报员