来源：新浪基金∞工作室

9月30日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）开盘涨0.52%，报1.150元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，华海清科开盘涨0.86%，中微公司涨0.68%，中科飞测涨0.54%，拓荆科技涨0.96%，华峰测控涨0.01%，芯源微涨0.51%，沪硅产业涨0.72%，盛美上海跌1.07%，安集科技涨1.79%，富创精密涨1.12%。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为128.56%，近一个月回报为-6.15%。