国家知识产权局信息显示,江苏威猛精密工具有限公司申请一项名为“一种碳掺杂高熵合金薄膜及其直流磁控溅射制备工艺”的专利,公开号CN122833523A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明公开了一种碳掺杂高熵合金薄膜及其直流磁控溅射制备工艺,涉及合金薄膜技术领域,采用碳掺杂TiZrNbTaCr薄膜,制备方法包括以下步骤:在真空条件下,Ti‑Zr‑Nb‑Ta‑Cr拼接靶和碳靶材均采用直流磁控溅射的共溅方法,在衬底上沉积制备TiZrNbTaCrC高熵合金薄膜。本发明碳掺杂可实现薄膜由BCC相向FCC碳化物相有序转变,0.15A碳靶电流下膜层最致密,有效封堵柱状晶腐蚀通道,无粗大孔隙;少量碳以间隙原子均匀固溶,无元素偏析缺陷;且力学性能大幅提升,耐氯离子腐蚀显著增强,工艺适配性好,适用于海洋、航空钛合金运动部件等严苛场景。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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