国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“光源装置及曝光设备”的专利,公开号CN122837097A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请公开了一种光源装置及曝光设备,其中,光源装置包括壳体以及反射镜,壳体具有第一壁;反射镜设于壳体内,反射镜具有敞口端和远离敞口端的底端,敞口端与壳体的内壁面密封连接,底端连接于第一壁;其中,反射镜的外壁面、壳体的内壁面以及第一壁之间围合形成有容置腔,壳体内设置有隔板,隔板将容置腔分隔形成靠近敞口端的第一腔室和靠近第一壁的第二腔室,壳体上设置有连通第一腔室的输入端口和连通第二腔室的输出端口,输入端口用于接入冷却介质,输出端口用于输出冷却介质,第一腔室通过转接端口连通第二腔室,转接端口分别与输入端口以及输出端口相间隔设置。本申请示例可以减少由于温度梯度过大而导致的反射镜形变的问题。
天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目999次,专利信息4699条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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