国家知识产权局信息显示,华海清科(北京)科技有限公司申请一项名为“一种具有可开合挡件的晶圆加工装置”的专利,公开号CN122829679A,申请日期为2026年4月。

专利摘要显示,本申请属于半导体加工技术领域,提供了一种具有可开合挡件的晶圆加工装置,旨在解决现有晶圆留环减薄加工中挡件摩擦生杂、碎屑外溢、晶圆传输不便的技术问题。本申请装置包括承载晶圆的工作台、驱动砂轮作业的主轴,以及可合围作业区域的第一挡件和第二挡件,挡件可气浮移动且可枢转开合固定,适配晶圆传输。本申请通过挡件的环形气封结构喷出压缩空气形成环形风墙,实现挡件气浮无摩擦运行,同时阻挡加工碎屑外溢,保障加工环境洁净,提升了晶圆留环减薄的加工精度与良品率。

天眼查资料显示,华海清科(北京)科技有限公司,成立于2019年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析,华海清科(北京)科技有限公司参与招投标项目109次,专利信息160条,此外企业还拥有行政许可9个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员