国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“等离子体蚀刻设备及其缓冲单元”的专利，公开号CN122843273A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请公开了一种等离子体蚀刻设备及其缓冲单元，缓冲单元包括主体板和湍流发生器，湍流发生器包括第一发生结构和多个子发生结构，第一发生结构围合形成具有接收开口的湍流空间，使得等离子体朝向主体板流动并通过接收开口流入湍流发生器的湍流空间内，在湍流空间内发生湍流等离子体经过湍流发生器的缓冲后，能够通过主体板的第一通孔流向下一腔室内。本申请实施例的缓冲单元能够在第一状态和第二状态之间转变，以适应不同流量的等离子体和反应气体，并对不同流量的等离子体和反应气体的停留时间进行有效延长，提升等离子刻蚀的工艺性能。

天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。

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作者：情报员