国家知识产权局信息显示,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司申请一项名为“一种硅抛光片多片堆叠LTO去边的方法”的专利,公开号CN122847060A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体材料制造技术领域,尤其涉及一种硅抛光片多片堆叠LTO去边的方法,包括:S1、硅片准备与堆叠:将多个硅抛光片通过双面胶带逐层粘合堆叠,形成硅片堆叠体,堆叠时确保各硅片边缘对齐;S2、胶带固定与加压:在堆叠体上下表面覆盖保护胶带,施加压力并保持预设时间,确保堆叠体粘合的稳定性和边缘平整度;S3、去边加工:将堆叠体整体装夹于浸润装置保持旋转,浸润装置向堆叠体喷射HF溶液进行腐蚀去边,达到预设时间后取出堆叠体;S4、胶带去除与清洗:加热软化胶带后逐片分离硅片,随后采用清洗硅片,去除残留胶质和颗粒。

天眼查资料显示,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司,成立于2017年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本523559.0107万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目44次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息487条,此外企业还拥有行政许可24个。

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作者:情报员