国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“通过喷头流量分配设备的流量监控及分配控制”的专利，公开号CN122847989A，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，设置在衬底处理系统的喷头的本体或杆部中的第一流量分配设备包含：一对电极；及中间层，其被设置在该一对电极之间，且包含基于施加至该一对电极的电压改变状态的电活性聚合物。该一对电极及中间层共同实施为影响通过喷头的物质流量的挡板。

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作者：情报员