晶体管和上面的金属之间，要有一条垂直的通路。接触孔就是在绝缘介质上开出的小孔。孔底要落在源漏或栅极的硅上，侧壁要让后面的导电材料填得进去。孔没到底，这条通路是断的；孔打到旁边，该隔开的地方会连上。
孔的位置跟着上一层曝光。曝光偏了，孔会落在介质上，而不是落在硅上。这时把孔挖得再深，也接触不到该接触的表面，只会在错误的地方留下一个坑。所以先量孔的位置，再谈刻蚀深度。
孔又小又深。口上的反应产物出得去，底上的出得慢，底部容易停住。孔越深越窄，越要靠离子把底部的材料打掉，同时不能把侧壁啃宽。侧壁被啃宽，相邻的孔会在介质里穿通。
刻蚀要停在该停的材料上。孔上面是氧化物，孔底是硅或硅化物。对硅的选择比不够，到底之后还继续挖，浅结会被挖穿，漏电从孔底走。选择比够、终点却判晚，孔底会留一层残膜，电学上就是开路。大面积的孔先到底，密集的小孔后到底。过刻按最慢的孔来定，同时看最快的孔有没有挖穿结。
孔底的残渣最麻烦。聚合物和被打下来的碎屑会盖住硅。后面填金属时，金属和硅之间夹着这一层，电阻会很高，温度一高还可能鼓开。清底的时间要短，把底清干净，又不能把孔壁继续啃宽。清完用截面看底，不要只看平面上孔的直径。
孔的形状要接近直壁，或者口略宽于底，方便填充。口小底大，填充材料进不去底部。口大底小，相邻的孔在口部挤在一起。形状用截面量。平面直径只代表口。口合格、底还封着，平面检查看不出来。
填孔之前先长一层阻挡。阻挡挡住后面的金属往硅里扩散，也改善附着。阻挡太薄，盖不住侧壁；太厚，把本来就小的孔进一步收窄，填充更容易留空洞。阻挡厚度按侧壁最薄的地方来定，不按平面上的厚度。
填充要把孔从底到口填实。底部先长，口上不能先封。口先封了，孔里留下空洞。空洞在后面的热过程里会移动，可能移到孔口，变成一个坑。填充之后剖最深、最窄的孔。宽孔填得满，不代表窄孔也满。
填完要把孔口以上多余的材料磨掉，让这一层回到同一高度。磨多了，孔里的材料凹下去，下一层金属要跨这个台阶。磨少了，填充材料还连成一片，该分开的孔连在一起。这一刀要停在介质上，不能把介质磨出新的高度差。
密集区和孤立区的孔不一样。密集区刻蚀负载大，孔更浅或更窄。孤立孔先到底，密集孔后到底。只抽孤立孔，会以为已经齐了。抽样要把最密的阵列放进去。
中心和边缘的孔深也会差。气流和温度的径向差，会变成深度差。深度图成环，先查温度和气体；成扇，先查喷头。不要先加过刻时间。时间一加，已经到底的孔会继续往结里挖。
接触电阻偏高，可能是孔没到底，可能是底有残渣，可能是阻挡太厚，也可能是下面的硅化物没做好。这几种在电阻数字上很像，要用截面分开。只改刻蚀时间，残渣的问题还在。电阻整片偏高，先看是不是都没到底；成圈偏高，先看径向深度。
栅极上的孔和源漏上的孔，底部材质不一样，刻蚀停下来的手感也不一样。同一套时间硬套，一种底清了，另一种被挖过。能分开的步骤就分开。不能分开时，时间按更难停的那种底来收，同时看另一种有没有挖穿。
孔壁粗糙，阻挡就盖不严。粗糙来自刻蚀时聚合物不稳定。侧壁要在截面里看，不只看孔是不是圆的。圆而壁花，填充和阻挡都会出问题。
换刻蚀配方或换填充配方时，先走试验片。孔深变了，填充的深宽比变了，原来能填实的配方可能开始留洞。试验片把孔深、底是否干净、侧壁阻挡、有没有空洞、接触电阻对齐，再锁给整批。
掩模厚度不够，孔还没到底，掩模先被打穿，口会变大。掩模厚度按这一刀的时间和选择比留余量。余量不够，先加掩模，不要只把刻蚀时间缩短。时间一短，孔会更浅。
孔打开之后还要把胶和聚合物去掉，又不能伤到孔底。去得过重，孔底的硅化物被咬薄，接触电阻升高。去胶和清底是两步，各有各的终点，不能用加长其中一步去补另一步。
正式片抽最密的阵列、边缘的场，以及栅和源漏两种底。三种里缺一种，问题会留到后面。抽样位置写在卡上，不能换成好抽的大孔。
孔打开之后，底在空气里是活的。停太久会重新氧化，氧化把电阻顶高。打开和下一步长阻挡之间的时间写在流程里。超过时间的片子先看电阻，再决定进不进下一步，不要默认它还和刚刻完一样。
孔与孔之间的介质必须还在。侧壁被掏通时，平面上仍是一个个圆孔，电学上却已经短路。短路的位置若沿着某一方向成串，先看刻蚀的聚合物和偏压，不要先把孔的直径设计改小。直径改小会让填充更难，掏通的原因还在。
整条链路是：位置先准，孔按深宽比挖到该到的底，选择比保住下面的结，残渣清净，阻挡盖住侧壁，填充不留洞，磨平不凹进孔里。孔是一条通的、彼此隔开的通路。没到底，或者底上还有膜，就不要送到后面当已经连上。
同一片上大孔和小孔的终点不一样。监测图形如果只有大孔，信号到了只说明大孔到底，产品里的小孔可能还差一截。监测图形要包含和产品一样小的孔。没有这种图形，就用产品区的截面来判终点，不能只用监测图形的光学信号。
填充之后的磨平如果把阻挡一起磨穿，金属会在孔口外摊开。摊开的一圈在平面上像孔变大了。相邻孔近的时候，这两圈会连上。磨平之后除了看高度，还要看孔口有没有一圈摊开的金属。有这一圈，先收磨平，不要先把孔的光刻改小。
孔底如果落在多晶硅上和落在单晶硅上，停止的信号不一样。多晶的表面更毛，残渣更容易挂住。同一片上两种底都有时，清底的条件按更难清的那种来，同时看另一种底有没有被挖深。只按单晶的信号停，多晶上的孔会留下一层膜。
相邻孔的间距小到和孔的直径同一量级时，光刻的邻近效应会让孔变椭圆。椭圆的长轴如果指向邻孔，侧壁被掏一点就会穿通。这种阵列要单独看长轴方向的介质还剩多少，不能只看孔的平均直径。平均直径合格，长轴方向可能已经快连上。
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