国家知识产权局信息显示,苏州维克优真空技术有限公司、安徽极微半导体有限公司申请一项名为“带回转腔的真空镀膜设备及真空镀膜方法”的专利,公开号CN122711A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本发明公开了一种带回转腔的真空镀膜设备及真空镀膜方法,包括载板、输送载板的一号线体、沿一号线体输送方向设置的进料台、加热机构、双面清洁机构、第一镀钛机构、第二镀钛机构,还包括回转腔,所述回转包括用于载板沿一号线体输送方向垂直平移的一号平移机构和二号平移机构、正向输送线、反向输送线、设置在正向输送线一侧的第一镀铜机构和第二镀铜机构、设置在反向输送线一侧的第三镀铜机构和第四镀铜机构,所述正向输送线两端分别与一号输送线、反向输送线的两端对接,若干冷却机构。优点:少量镀铜机构即可实现多次镀铜沉积,无需设置数十甚至上百个镀铜机构,大幅降低了设备成本和真空腔体长度。避免铜结晶情况变差,有利于基片镀膜的效果。

天眼查资料显示,苏州维克优真空技术有限公司,成立于2024年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州维克优真空技术有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息11条,此外企业还拥有行政许可1个。

安徽极微半导体有限公司,成立于2025年,位于六安市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本800万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽极微半导体有限公司专利信息3条。

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作者:情报员