国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“刻蚀设备及刻蚀方法”的专利,公开号CN122872020A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请涉及显示设备加工技术领域,并具体提供了一种刻蚀设备及刻蚀方法,刻蚀设备包括刻蚀模块、清洗模块和隔离传送模块,刻蚀模块包括反应腔和刻蚀组件,反应腔用于放置刻蚀对象并为刻蚀对象提供真空环境,刻蚀组件的至少部分位于反应腔内,用于对位于反应腔内的刻蚀对象进行干法刻蚀得到刻蚀产物和刻蚀副产物;清洗模块位于刻蚀模块下游,用于对经刻蚀模块刻蚀处理后的刻蚀产物进行清洗以去除刻蚀副产物,隔离传送模块位于清洗模块和刻蚀模块之间,包括隔离组件和传送组件,隔离组件用于分隔刻蚀模块和清洗模块,传送组件用于将刻蚀产物和刻蚀副产物从刻蚀模块处转移至清洗模块处。本申请可以改善显示面板的形貌和加工精度。
天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目999次,专利信息4699条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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