国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“FDSOI器件及其制造方法”的专利,公开号CN122871666A,申请日期为2026年6月。

专利摘要显示,本申请提供一种FDSOI器件及其制造方法,该方法包括:步骤一,提供绝缘体上硅衬底,去除部分绝缘体上硅;步骤二,在保留的绝缘体上硅两侧外延生长硅层;步骤三,形成浅沟槽隔离的同时,在保留的绝缘体上硅两侧形成增厚埋氧层;步骤四,去除保留的绝缘体上硅中的硅层后,实施阱区注入,并在绝缘体上硅中的埋氧层上形成伪栅极结构;步骤五,在浅沟槽隔离和增厚埋氧层之间的硅层上形成抬升源/漏极;步骤六,去除伪栅极结构中的伪栅极后,形成金属栅极。形成厚的栅极介质层,可以承受更高的栅极电压,满足中高压器件的需求,拓宽FDSOI工艺平台的应用场景。

天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2114次,专利信息2949条,此外企业还拥有行政许可552个。

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作者:情报员