国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“光刻蚀设备、曝光装置及曝光装置的控制方法”的专利，公开号CN122860853A，申请日期为2025年3月。

专利摘要显示，本申请涉及一种光刻蚀设备、曝光装置及曝光装置的控制方法，光刻蚀设备包括：曝光装置，包括发光组件以及调光组件，调光组件设置于发光组件的出光侧并用于调整曝光装置的曝光强度，调光组件包括第一减光片、第一偏光件以及第二偏光件，第一减光片具有多个沿第一方向贯穿设置的透光孔，第一偏光件的光轴与第二偏光件的光轴相重合，第一偏光件能够相对于第二偏光件沿自身周向转动，沿第一方向，第一减光片的正投影与第一偏光件的正投影以及第二偏光件的正投影之间的重叠区域面积可调；显影装置；刻蚀装置；传送装置。本申请实施例提供的光刻蚀设备能够提高加工效率以及加工良率。

天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。

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作者：情报员