国家知识产权局信息显示,嘉兴微瑞光学有限公司申请一项名为“一种可旋转可抽拉密闭式硅透镜热回流设备”的专利,公开号CN122858080A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本发明公开了一种可旋转可抽拉密闭式硅透镜热回流设备,属于透镜热回流设备技术领域,该设备包括箱体和烘箱,以及晶圆密闭单元、磁吸旋转机构、升降驱动机构和抽拉载盘机构,晶圆密闭单元设于烘箱内,上盖与承载盘围合形成容纳晶圆的独立密闭腔;磁吸旋转机构布置在烘箱加热区外,通过电磁铁与承载盘底部磁吸传导部磁吸配合;升降驱动机构实现磁吸部件接合与分离;抽拉载盘机构可将载盘座抽出烘箱完成上下料;本发明能够实现多晶圆独立密闭批量热回流,优化晶圆温度场均匀性,减小气流扰动,外置磁吸传动保护驱动部件,抽拉结构方便上下料,提升硅微透镜加工一致性与生产效率,适用于晶圆级硅透镜批量制备。

天眼查资料显示,嘉兴微瑞光学有限公司,成立于2022年,位于嘉兴市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1333.1927万人民币。通过天眼查大数据分析,嘉兴微瑞光学有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息67条,此外企业还拥有行政许可4个。

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作者:情报员