国家知识产权局信息显示,深圳市恩乐科环保科技有限公司申请一项名为“一种防气泡粘附的晶圆清洗喷淋结构及方法”的专利,公开号CN122872000A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本发明公开了一种防气泡粘附的晶圆清洗喷淋结构,包括喷淋臂、喷淋壳体和自调节组件,喷淋壳体包括筒架,筒架的底部一体式成型有靴架,靴架的内部开设有第一出液槽道、第二出液槽道、第三出液槽道和第四出液槽道,靴架的底部设置有四个喷淋嘴,四个喷淋嘴均倾斜设置,且倾斜角度由第四出液槽道向第一出液槽道依次递减。本发明通过设置四个处于倾斜角度依次递减的喷淋嘴,令调节套管在喷淋壳体的内部,保持清洗液持续进入第四出液槽道内部,从而由其底部的喷淋嘴持续流出,并借助自调节组件使第一出液槽道、第二出液槽道、第三出液槽道中任意一个支撑清洗液流出,可以使清洗液在晶圆顶部的流动速度更快,并避免气泡和杂质在晶圆的顶部表面滞留。

天眼查资料显示,深圳市恩乐科环保科技有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市恩乐科环保科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目35次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息11条,此外企业还拥有行政许可3个。

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作者:情报员