国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“改善单晶硅径向Swirl缺陷分布的拉晶方法及单晶硅棒”的专利,公开号CN122856344A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明提供的一种改善单晶硅径向Swirl缺陷分布的拉晶方法及单晶硅棒,属于单晶硅拉晶技术领域。本发明通过在拉晶炉上设置控制单元实现所述液口距GAP值的精准调控;该方法在拉晶不同等径长度阶段,使所述液口距GAP值随等径长度的增大而线性变化,通过调控所述液口距GAP值抑制Swirl缺陷生成;在引晶和转肩过程中所述液口距GAP值保持不变;全程采用闭环控制,使所述液口距GAP值波动小于±0.5mm,进而补偿温度梯度的波动,进一步抑制缺陷生成。本发明适用于4寸、5寸、6寸及8寸多尺寸的晶棒拉制,具有较好的通用性,能够满足不同炉型和不同规格晶棒的生产需求。

天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息422条,此外企业还拥有行政许可27个。

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作者:情报员