国家知识产权局信息显示，北京微纳精密机械有限公司、北京石油化工学院、中国工程物理研究院激光聚变研究中心申请一项名为“晶体表面柔性变形测量方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号CN122858352A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本发明涉及晶体抛光领域，公开了晶体表面柔性变形测量方法、装置、设备及存储介质，该方法用于测量晶体上抛光盘状态时晶体加工表面在外部载荷作用下的变形。该方法包括：基于薄板弯曲理论，结合晶体几何尺寸、应变测量阵列的布设位置、绝对挠度测点位置以及预设的预测点位置构建位移与应变传递矩阵；在晶体承受外部载荷的状态下，采集应变测量阵列中各应变片的实时应变值以及绝对挠度测点处的实时绝对挠度值，并对各应变片的实时应变值以及绝对挠度测点处的实时绝对挠度值进行零点校正，得到校正应变值和校正绝对挠度值；将校正应变值和校正绝对挠度值组合成测量向量，并基于测量向量和位移与应变传递矩阵得到所有预测点的挠度值。

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作者：情报员