图形刻完，光刻胶还盖在要留下的图形上。胶的任务已经完成，要把它清掉，底下的图形才能继续往下做。溶出窗口那一步发生在刻蚀之前，溶掉的是曝光过的那一部分。这一步是刻蚀之后，把还留着的胶从图形上拿掉。
刻蚀时的等离子体把胶的表面烤硬，上面常常有一层壳，壳里混着刻蚀留下的聚合物。壳比下面的胶难清。只按新鲜胶的时间来清，壳会留下，看起来像还盖着一层脏膜。时间要按有壳的胶来定。
还盖在图形上的胶，截面上是厚厚的一层，顶上粗糙，像结了一层壳。壳下面才是比较松的胶。图形的侧壁已经刻出来了，胶只留在顶上。壳若没被看出来，清的时间会按松胶来设，顶上的壳整片留下。
清胶多用氧气把胶变成气体带走。氧气不够或时间短，壳和沟槽里的胶都会留下。氧气太强或时间太长，胶已经没了，裸露的硅或介质还在被咬。终点是胶刚刚消失。不是气体开得越久越干净。
窄而深的槽，底部的胶最后才接触到气体。顶上已经干净，槽底还留着一条残胶。只看顶面，槽底的残胶要到下一道才暴露。截面要剖到槽底。顶面干净不能放行。
残胶若连成一条，下一层膜会在这里拱起或断开。残胶若是散开的点，后面会变成一颗颗缺陷。两种都要清掉，但地图不同。一条残胶多半是槽太深或时间不够。散点多半是壳的碎片落到了表面。
温度太高，胶里来不及跑掉的挥发分会把胶顶开，残留溅到旁边的图形上。温度太低，壳清不掉。温度窗口按这层胶的厚度来定，不能沿用上一道刻蚀的温度。刻蚀的温度是为了刻膜，不是为了清胶。
槽底没清掉的残胶，截面上是贴在底角的一条，顶上的胶已经不在了。底角最容易留。只剖槽的中段、不看底角，会以为已经清完。放行的截面要包含底角。底角还有一条，这片不能往下送。
胶清完之后若继续开着气体，硅的表面会被咬出小坑，介质的表面会变毛。小坑在电学上像漏电或接触变差，形貌上却已经没有胶。这和残胶是相反的两头。有残胶是时间不够。有小坑是时间过了。
有的介质膜里含碳，氧气会把碳抽走，膜会变密、变脆，电容跟着变。胶已经清完还继续通氧，损伤的是这层膜，不是胶。清胶的终点不能让这层膜去硬扛。膜的性质要在清胶前后各量一次。
金属已经露出来的片子，氧气会把金属表面氧化。氧化留在接口上，后面的接触变差。这和硅表面的小坑不是同一个位置。先看清胶时哪些材料是裸着的，再定气体和终点。已经裸着金属的片子，时间要更短。
壳的碎片若落到已经清干净的区域，会变成同一时间内清不掉的硬点。这些点比槽底的残胶更硬。加长时间能清掉槽底，这些硬点还在，硅却先被咬出坑。硬点要在加时间之前先认出来。
被咬毛的硅面要和残胶分开。残胶是表面上多出来的一条，能看出胶的轮廓。咬毛是胶已经不在了，硅本身坑坑洼洼。只写一个表面不干净，后面不知道该加时间还是该停。抽查要写是多出来的胶，还是少掉的硅。
片内分开看三件事：壳有没有去掉，槽底还有没有残胶，裸露的硅有没有被咬毛。壳还在，多半是时间按松胶设的。槽底还有，多半是深宽比大、气体没到底。硅被咬毛，多半是终点过了。只加时间，已经咬毛的地方会更毛。
边缘和中心的清胶速率不一样。边缘先清完并开始咬硅，中心的壳还在。只看中心，边缘整圈已经有坑。只看边缘，中心会整圈留壳。两端都要抽。中心还有壳、边缘已经咬毛，不能用一个时间把两边一起救回来。
刻蚀留下的聚合物若盖在胶上，氧气对这层聚合物很慢。聚合物还在，下面的胶清不掉。这和胶本身的壳不完全一样。聚合物要先松开，再清胶。两步并成一步，时间加得很长，聚合物还在，硅先受伤。
图形侧壁上若挂着一层薄的残余，顶视图几乎看不见，截面上是侧壁的一层皮。下一道薄膜会把这层皮封进去。放行不能只有顶视图。侧壁的皮和槽底的条要一起写上。
换气体或清腔之后，清胶速率会跳。刚清完的前几片当陪片。壁上的残留会改变速率，同一时间有的片子留胶、有的片子咬硅。按片数清理。清完不跑陪片，第一片正式片最容易一头留胶、一头咬硅。
同一片上大块胶和小孔里的胶，清完的时间差很多。大块已经干净，不代表最小孔的底是干净的。放行看最小孔的底角。大块只用来看机台有没有整片漂。
整条链路是：壳被认出来，时间停在胶刚刚消失，槽底和底角没有残胶，侧壁没有挂皮，裸露的硅和介质没有被咬毛。顶上已经干净，底角还留着一条，或者硅面已经坑坑洼洼，就不要送去后面长膜。残胶和咬毛要分开报。
胶的厚度若片内不匀，厚的地方壳还在，薄的地方已经咬到硅。用一个时间去迁就厚胶，薄胶底下的硅先受伤。先看来片的胶厚图。胶厚已经分成两圈，清胶时间救不了两边。厚的那一圈要单独认，不能把整片时间一起拉长。
窄槽里的残胶若被清胶气体从顶上烤干，会缩成一条更硬的丝，贴在槽底。丝比原来的胶更难去掉。再加同一道气体，丝还在，槽口的硅先毛。这种丝要换一种能松开它的做法，不要在同一道上把时间加倍。
清胶之后若在空气里停太久，刚清干净的硅表面会再长出一层不均匀的薄氧化。下一道若对这层氧化敏感，接触会变差。停留时间写在卡上。超时的片子先看表面，不要先回头加清胶时间。再加一次，氧化还在，硅却更毛。
同一批里，刻蚀刚结束就清胶的片子，壳还软。在刻蚀腔里多等的片子，壳会更硬，同一清胶时间清不掉。等待要和清胶绑在一起看。壳清不掉时，先问刻蚀之后等了多久，不要先把氧气流量加到最大。流量一加，等得短的片子会先被咬毛。
放行要同时有顶面、槽底底角和侧壁三处。少一处，残胶就会从那一处漏下去。三处都干净，还要看裸露的硅是不是仍然平整。平整没有了，就是时间过了。干净和没被咬，两件事都要写上，不能只用一个清完来代替。三处里只要还有一处留着胶，整片都不能往下送。
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