国家知识产权局信息显示,北京海创微元科技有限公司申请一项名为“晶圆电镀方法”的专利,公开号CN122856309A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆电镀方法,包括:对待电镀的晶圆进行预处理;对预处理后的晶圆进行分阶段电镀,以在晶圆上形成所需的镀层;其中,分阶段电镀至少包括依次进行的第一阶段电镀、第二阶段电镀和第三阶段电镀,第二阶段电镀的第二电流密度大于第三阶段电流的第三电流密度,第三阶段的第三电流密度大于第一阶段电镀的第一电流密度。通过采用第一阶段低电流密度致密成核、第二阶段高电流密度快速沉积、第三阶段中等电流密度整平封孔的分阶段电镀工艺,在提高沉积速率、缩短电镀周期的同时,有效改善了镀层均匀性并抑制了针孔起皮缺陷。
天眼查资料显示,北京海创微元科技有限公司,成立于2023年,位于北京市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析,北京海创微元科技有限公司参与招投标项目4次,此外企业还拥有行政许可5个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴