国家知识产权局信息显示,深圳市志合云创科技有限公司申请一项名为“一种基于多光源照明的晶圆表面缺陷检测方法和系统”的专利,公开号CN122866120A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本申请提供了一种基于多光源照明的晶圆表面缺陷检测方法和系统,属于晶圆检测技术领域。采集晶圆表面粗糙度数据得到动态螺旋扫描路径;采集透光度数据调节多波段光源曝光时间;分离反射光至对应成像单元;对多波段图像预处理确定滤波参数;通过多分支特征融合网络融合全局与局部特征得到热力图;结合工艺类型调整阈值实现成分识别;利用临界及误判样本进行网络增量学习并生成检测报告。系统对应设有各功能模块及存储器、处理器。本发明提升晶圆缺陷检测精度与效率,适配不同工艺晶圆检测需求。

天眼查资料显示,深圳市志合云创科技有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市志合云创科技有限公司参与招投标项目12次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可3个。

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作者:情报员