国家知识产权局信息显示，九方流体系统技术（深圳）有限公司申请一项名为“用于半导体的单向阀开启压力校准与故障诊断方法及系统”的专利，公开号CN122857616A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体流体控制技术领域，提供了一种用于半导体的单向阀开启压力校准与故障诊断方法及系统。方法通过采集半导体工况下单向阀在线运行的压力波动数据与流量响应数据；将采集得到的压力波动数据与流量响应数据输入预训练的机器学习识别模型，识别单向阀的开启压力偏移故障与密封失效故障；根据识别得到的故障类型与故障程度，生成对应的自适应校准参数；基于生成的自适应校准参数对单向阀执行无拆机在线校准。本申请无需拆解单向阀即可在线完成校准与故障诊断，不中断半导体产线连续运行，提升生产稼动率。

天眼查资料显示，九方流体系统技术（深圳）有限公司，成立于2020年，位于深圳市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，九方流体系统技术（深圳）有限公司参与招投标项目142次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息53条，此外企业还拥有行政许可7个。

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作者：情报员