国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司申请一项名为“一种传片装置、工艺腔室和传片方法”的专利，公开号CN122856150A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明公开了一种传片装置、工艺腔室和传片方法。该传片装置包括：第一旋转机构，位于多个工艺站之间，包括第一转轴；以及第二旋转机构，包括第二转轴和旋臂，其中，所述旋臂的第一端连接所述第二转轴，而其第二端设有承载晶圆的载盘，用于先将位于初始工艺站的所述载盘公转到所述第一旋转机构进行自转，再将完成所述自转的载盘公转到目标工艺站。本发明能够有效简化腔内传片部件结构，降低工艺腔内颗粒污染的风险，从而提升产品良率，同时还能提高对不同工艺参数偏差补偿需求的灵活性，从而进一步提升多站式工艺腔室的工艺效果的均匀性。

天眼查资料显示，拓荆科技（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本283508.77万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标项目55次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息457条，此外企业还拥有行政许可45个。

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作者：情报员