国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“晶圆键合对准方法、装置、设备、介质”的专利,公开号CN122872065A,申请日期为2026年9月。

专利摘要显示,本申请涉及一种晶圆键合对准方法、装置、设备、介质,将第二晶圆移动至第二工位,以使第二晶圆与位于第一工位的第一晶圆完成第一对准;以预设压力推动第二晶圆从第二工位移动至预键合工位,获取第二晶圆在移动过程中的压力分布信息,基于压力分布信息得到第二晶圆在移动过程产生的偏移信息;基于偏移信息调整第一晶圆的位置,在第一晶圆和第二晶圆完全压合之前,调整第一晶圆的位置,以补偿第二晶圆在移动过程产生偏移误差,以使第一晶圆与第二晶圆完成第二对准;以抵消第二晶圆在移动运动过程中产生的偏移误差,对第一晶圆与第二晶圆进行第二次对准,改善第一晶圆和第二晶圆之间的对准偏差,提升键合对位精度。

天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本223464.5597万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目661次,财产线索方面有商标信息54条,专利信息1846条,此外企业还拥有行政许可36个。

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作者:情报员