国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺设备及晶圆的加工方法”的专利,公开号CN122872049A,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本申请公开了一种半导体工艺设备及晶圆的加工方法,涉及半导体领域。一种半导体工艺设备,包括:多个工艺腔室、传输装置、多个传输工位和第一装载工位;多个传输工位与多个所述工艺腔室一一对应设置;所述传输装置包括多个晶舟,每个所述晶舟在多个所述传输工位与第一装载工位之间可移动,用于在多个传输工位之间传输晶圆,或者在所述传输工位与所述第一装载工位之间传输所述晶圆。本申请能够解决相关技术中双腔共用一套空置晶舟导致时序交错、浪费时间等问题。

天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目1523次,财产线索方面有商标信息75条,专利信息5968条,此外企业还拥有行政许可338个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员