国家知识产权局信息显示,嘉兴九纵智能科技有限公司申请一项名为“晶圆检测机”的专利,公开号CN122872087A,申请日期为2026年9月。

专利摘要显示,本发明涉及晶圆检测装置,公开了一种晶圆检测机,包括大理石平台、检测载台、上检测相机和下检测相机,大理石平台上还设有上检测运动组件、下检测运动组件以及载台运动组件;检测载台上设有用于承载晶圆的托板组件和除水清洗组件,除水清洗组件包括能够对晶圆背面进行清洗的清洗组件和能够对晶圆背面进行干燥的除水组件。本发明提供了一种能够较佳的满足晶圆正反面检测需求的晶圆检测机,其能够实现正反面同步检测,其在检测完成后能够将晶圆表面液体残留以及残留液有效去除,充分满足后续工序需求。

天眼查资料显示,嘉兴九纵智能科技有限公司,成立于2014年,位于嘉兴市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本496.1553万人民币。通过天眼查大数据分析,嘉兴九纵智能科技有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息158条,此外企业还拥有行政许可7个。

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作者:情报员