国家知识产权局信息显示,三星显示有限公司申请一项名为“静电卡盘、衬底处理设备及制造显示装置的方法”的专利,公开号CN122872067A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本公开涉及静电卡盘、衬底处理设备和制造显示装置的方法。静电卡盘包括:主体部分,具有通孔;缓冲层,在主体部分上,缓冲层中的第一检查孔在平面图中与通孔重叠;电极层,在缓冲层上,电极层中的第二检查孔在平面图中与第一检查孔重叠;以及电介质层,在电极层上并且具有通过第二检查孔暴露的表面。电介质层的至少一部分是透明的。

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作者:情报员