据科技媒体 Tom's Hardware 报道，日本半导体光刻设备制造商 Gigaphoton 推出了一套新型氖气回收系统，名字叫 hTGM，专门用于氟化氩（ArF）准分子激光器。

这套系统给出的数字是：50% 氖气回收率。报道称，未来调整系统配置后，回收效率还有望进一步提升。

打开网易新闻 查看精彩图片

为什么盯上氖气

2022 年之前，乌克兰供应了全球半导体大约 50% 的氖气，后续被迫停止出口。而全球约 70% 的氖气产量用于半导体制造，其中很大一部分流向了先进的深紫外（DUV）光刻工艺。

供应端一断，缺口立刻显形。这套回收系统的意义，正是冲着这个缺口去的。

补位的动作不止一家

在乌克兰停供之后，中国、韩国等地区都加大了氖气生产力度。与此同时，多家芯片制造商也在晶圆制造流程中引入了氖气回收系统。

Gigaphoton 的 hTGM 是这条路线上的新选项：与其一味找新气源，不如把用过的氖气捞回来再用一遍。