国家知识产权局信息显示，无锡亘芯悦科技有限公司申请一项名为“电子束量测设备及其合轴对中方法”的专利，公开号CN122889656A，申请日期为2026年8月。

专利摘要显示，本申请涉及一种电子束量测设备及其合轴对中方法。电子束量测设备包括电子源、电子束成像组件和电子束对中组件。电子束成像组件包括：预聚焦模块、光阑、探测器、消像散器、扫描偏转器和物镜。电子束对中组件包括：设置于预聚焦模块和光阑之间的第一对中模块，设置于光阑和物镜之间的第二对中模块，以及连接预聚焦模块的第三对中模块。所述合轴对中方法包括：基于第一对中模块，使电子束和光阑对中；基于第一对中模块和第二对中模块，使电子束和物镜对中；基于第三对中模块，使电子束和预聚焦模块对中；进行第一次电子束成像检测；基于消像散器，使电子束和消像散器对中；进行第二次电子束成像检测。本申请用于提升合轴对中效率。

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作者：情报员