国家知识产权局信息显示,江苏润玺环保设备有限公司申请一项名为“半导体芯片引脚氧化残留精准化学清洗方法”的专利,公开号CN122892492A,申请日期为2026年8月。
专利摘要显示,本发明具体为半导体芯片引脚氧化残留精准化学清洗方法,涉及半导体芯片封装技术领域,包括:基于各引脚的空间位置和清洗难度系数的分布,对引脚进行空间聚类以划分清洗区域,为每个清洗区域独立生成清洗液配比参数,对相邻区域进行空间插值生成过渡配比参数,并输出供液控制指令。本发明中,清洗前通过多模态检测获取每个引脚的实际氧化状态,使清洗参数的生成基于引脚的真实状态,避免了固定配方对差异化氧化状态的不适配;分区供液策略使氧化程度较高的区域获得充分清洗,同时氧化程度较低的区域不受过度腐蚀,克服了统一工艺下欠洗与过蚀并存的矛盾。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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