国家知识产权局信息显示，沈阳芯达科技有限公司申请一项名为“一种吸盘结构及晶圆清洗用上下料机械手”的专利，公开号CN122892527A，申请日期为2026年6月。

专利摘要显示，本发明公开了一种吸盘结构及晶圆清洗用上下料机械手，涉及晶圆生产技术领域。该种吸盘结构，包括安装板、与安装板连接的多个吸盘本体以及与吸盘本体连通的吸气管，所述吸盘结构还包括：调节机构，设置于所述安装板上，用于调节多个吸盘本体之间的间距。该种吸盘结构及晶圆清洗用上下料机械手，通过所述调节机构，可调节吸盘本体的间距以适配不同规格晶圆；通过所述压力控制机构，可稳定控制吸盘本体与晶圆的接触压力，避免晶圆因受力不均发生损伤；通过所述防护机构的安装环、环形槽、升降机构、密封环及移动机构配合，驱动洁净的密封环优先与清洗后的晶圆接触，避免吸盘本体本体直接接触晶圆造成二次污染，从而有效提升晶圆加工良率。

天眼查资料显示，沈阳芯达科技有限公司，成立于2017年，位于沈阳市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2800万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯达科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目40次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息71条，此外企业还拥有行政许可11个。

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作者：情报员