半导体生产过程中,静电是芯片、晶圆的隐形杀手。哪怕微弱的静电放电,都可能造成器件永久性击穿,或是产生隐性品质缺陷,直接影响产品良率。很多半导体工厂依靠人工抽查防静电手环、防静电工鞋,容易出现漏检、人为放行、纸质记录不全等管理短板,难以满足 ESD20.20 标准及客户审厂要求。维亮人员静电检测门禁闸机,作为半导体工厂防静电通道优选设备,在洁净区入口搭建自动化静电检测关卡,实现人员入场前强制静电测试。
维亮静电检测门禁闸机主体采用304 不锈钢材质,表面平整光洁、不易积尘、耐腐蚀,方便无尘车间日常擦拭保洁,适配洁净生产环境。闸机可选三辊闸、翼闸、摆闸多种样式,可根据车间通道宽度、上下班人流规模,定制适配方案。系统搭载人脸识别 + 刷卡双重身份核验,人员进入半导体洁净区域前,先核验通行权限,站立测试踏板、触摸检测电极,高精度检测人体综合电阻,同步校验防静电手环与工鞋性能。管理人员可自定义 ESD 电阻阈值,匹配不同产线静电管控要求。
系统执行先检测,合格放行刚性管控逻辑:静电检测达标,闸机自动开闸;参数超标则声光报警,闸机锁止,禁止人员进入生产区域,提醒员工排查静电隐患。所有检测记录自动存档,包含工号、人员信息、检测时间、电阻值、检测结果,后台支持实时查看、报表导出。设备预留MES 系统对接接口,静电检测数据可同步接入生产管理系统,全流程数据留痕可追溯,轻松应对体系审核与客户验厂。
闸机自带防尾随、防反向闯入保护,断电自动开闸,兼顾 ESD 管控与消防疏散安全。整套设备既可配套新建半导体无尘厂房,也可对现有出入口改造升级,施工便捷,运行稳定。
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