国家知识产权局信息显示,上海稷以科技有限公司申请一项名为“基于电感耦合等离子体刻蚀机的复机流程”的专利,公开号CN122892475A,申请日期为2026年7月。

专利摘要显示,本发明提出了一种基于电感耦合等离子体刻蚀机的复机流程,包括以下步骤:在清洁工艺后,先批量进行硅刻蚀,硅刻蚀结束后再批量进行介质刻蚀。本发明对现有的复机流程进行改进,使得电感耦合等离子体刻蚀机可混跑硅产品和介质产品。

天眼查资料显示,上海稷以科技有限公司,成立于2015年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本516.8316万人民币。通过天眼查大数据分析,上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目97次,财产线索方面有商标信息38条,专利信息187条,此外企业还拥有行政许可25个。

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作者:情报员