国家知识产权局信息显示，麦斯塔微电子（深圳）有限公司申请一项名为“MEMS器件及其制备方法、电子器件”的专利，公开号CN122877703A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本申请涉及微机电系统技术领域，公开了一种MEMS器件及其制备方法、电子器件，MEMS器件制备方法，包括：提供一目标结构，所述目标结构包括自下而上，依次层叠的手柄衬底层、绝缘氧化层及器件层；在所述器件层表面的预定区域形成开口图形，且基于所述开口图形，由所述器件层表面向下刻蚀，形成刻蚀通道，所述刻蚀通道贯穿所述器件层和所述绝缘氧化层直至所述手柄衬底层，以暴露所述手柄衬底层；在所述刻蚀通道内填充导电材料且形成纵向导电通路。本申请提高MEMS器件可靠性。

天眼查资料显示，麦斯塔微电子（深圳）有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本469.8052万人民币。通过天眼查大数据分析，麦斯塔微电子（深圳）有限公司共对外投资了2家企业，财产线索方面有商标信息8条，专利信息180条，此外企业还拥有行政许可7个。

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作者：情报员